【激光干涉仪】一、
激光干涉仪是一种利用激光光波的干涉原理，对微小位移、角度、表面形貌等物理量进行高精度测量的仪器。其核心原理是通过分束器将一束激光分成两路，分别经过参考路径和被测路径后重新汇合，形成干涉条纹。通过对干涉条纹的变化进行分析，可以精确地计算出被测对象的参数变化。
激光干涉仪具有高灵敏度、高分辨率、非接触式测量等优点，广泛应用于精密制造、光学检测、科学研究等领域。根据不同的应用需求，激光干涉仪可分为多种类型，如迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪、哈特曼干涉仪等。
二、表格展示
| 项目 | 内容 |
| 名称 | 激光干涉仪 |
| 原理 | 利用激光的干涉现象，通过比较参考光路与测量光路之间的相位差来实现高精度测量。 |
| 主要组成部分 | 激光光源、分束器、反射镜、探测器、信号处理系统等。 |
| 测量方式 | 非接触式测量，适用于微米甚至纳米级精度的检测。 |
| 测量参数 | 位移、角度、表面粗糙度、折射率、光学元件质量等。 |
| 典型应用场景 | 精密机械加工、半导体制造、光学器件检测、材料科学研究等。 |
| 常见类型 | 迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪、哈特曼干涉仪、白光干涉仪等。 |
| 优点 | 高精度、高灵敏度、非接触、实时性强、适应性广。 |
| 缺点 | 对环境要求高（如温度、振动、气流）、设备成本较高、操作复杂。 |
| 发展趋势 | 向小型化、智能化、集成化方向发展，结合数字图像处理技术提升测量效率。 |
三、结语
激光干涉仪作为现代精密测量的重要工具，凭借其独特的优势在多个领域发挥着关键作用。随着技术的不断进步，其性能将进一步提升，应用范围也将不断扩大。
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